磁敏元件
Requirement of Substrate in thin film magneto sensor is reported. In accordance with the requirement, We select silicon and ferrite of high density as substrate. SiO2 is made insulation film on the substrate.
本文论述了薄膜磁敏元件对基片的要求,依此要求选择硅和高密度铁氧体为基片,上面制备SiO2作绝缘膜。
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